Россияне строят и будут продавать по всему миру электронные микроскопы для поиска дефектов в микроэлектронике
Дочерняя структура «Элемента» разрабатывает микроскоп для анализа дефектов материалов. Разработчики планируют продавать ее по цене китайских аналогов и не только на отечественный рынок, но и за рубеж.
Приборы от «Нанотроники»
Как выяснил CNews, входящая в микроэлектронную группу предприятий «Элемента» — «Нанотроника» ведет разработку растрового электронного микроскопа (РЭМ) для анализа дефектов в различных материалах, от металлов и сплавов до полимеров и полупроводников.
Такие установки относятся к аналитическому оборудованию. Сейчас Россия полностью зависит от импортных поставок, отметил представитель «Нанотроники».
«Нанотроника» разработала макет микроскопа и проводит испытания установки. Релиз оборудования состоится в 2026-2027 г., следует из презентации компании. «Накопленный задел и созданная технологическая база позволяют закрыть потребности российских производителей микроэлектроники в аналитическом оборудовании на перспективу до пяти-семи лет», — отметил представитель компании.
«Дочка» «Элемента» разрабатывает электронный микроскоп для анализа дефектов материалов
Разработка ведется за счет средств «Элемента». «Мы ориентируемся, что конечная цена для потребителя будет находиться на уровне популярных китайских аналогов», — рассказал CNews представитель «Нанотроники».
«Мы видим свою нишу в замещении импортных установок начального и среднего класса, которые сегодня наиболее востребованы в университетах, отраслевых НИИ и на промышленных предприятиях для контроля качества, — продолжили в компании. — Мы планируем занять значительную долю этого сегмента, предлагая не просто прибор, а полный цикл технической поддержки и сервиса».
«Нанотроника» планирует поставлять установки не только на рынок России, но и мира, в особенности стран СНГ.
Макет установки
Макет растрового электронного микроскопа «Нанотроники» состоит из электронно-оптической колонны, который отвечает за формирование электронного пучка, сканирование поля исследования, а также регистрацию электронов с формированием измерительных сигналов.
Помимо этого, установка содержит вакуумную систему, которая создает и поддерживает вакуум, а также измеряет давление во всех ключевых точках тракта.
Также она состоит из технологического блока и системы загрузки и выгрузки пластин. Например, макет содержит в себе вакуумный стол для перемещений и позиционирования пластины, а также камеру для их фиксации. Еще один элемент установки – это система АСУ (управления модулями и составными частями), которая отвечает за обработку измерительных сигналов.
Установка разрабатывается с возможностью использования различных типов катодов — на вольфраме и гексабориде лантана, что обеспечит более низкую стоимость эксплуатации, но при этом позволит пользователю добиваться максимального разрешения и стабильности, отметили в «Нанотронике».
Что такое растровый электронный микроскоп
Растровый электронный микроскоп (РЭМ) используется для анализа дефектов благодаря способности получать изображения поверхности материала с высоким разрешением и получать информацию о составе материала. Он позволяет выявлять дефекты на поверхности, проводить количественный элементный анализ и изучать влияние внешних условий (температура, растяжение) на материал.
РЭМ создает детальные трёхмерные изображения поверхности образца, на которых чётко видны трещины, поры, царапины и другие поверхностные дефекты. Он также позволяет исследовать микроструктуру материала на наноуровне, что важно для понимания причин возникновения дефектов.
Прибор может использоваться для анализа полупроводниковых приборов.
