Инвестиции в центр фотошаблонов в Зеленограде превысили 31 млрд рублей. Большая часть — на иностранное оборудование
Государство вложит более 31 миллиарда в создание Научно-технологического центра фотошаблонов (НТЦ ФШ). Большая часть средств пошла на закупку иностранного оборудования. При этом строительство центра, изначально оценивавшееся в 3,6 млрд руб., подорожало вдвое после решения осваивать фотошаблоны для 28-нм микросхем.
31 миллиард на фотошаблоны
Как стало известно CNews, совокупный бюджет Научно-технологического центра фотошаблонов (НТЦ ФШ) на базе НИУ МИЭТ составит не менее 31,7 млрд руб. Большая часть средств в размере 24,3 млрд руб., выделенных Минпромторгом, пошла на закупку и оснащение завода оборудованием. Это следует из презентации проекта, которая есть в распоряжении CNews.
Как следует из документа, еще 7,4 млрд руб. (финансирует Правительство Москвы) направлены на строительство. При этом отмечается, что стоимость работ выросла в два раза с 3,6 млрд руб.
Как следует из презентации проекта, первоначальная смета в 3,6 млрд руб. была пересмотрена в сторону увеличения до 7,4 млрд после поручения заместителя председателя правительства Дениса Мантурова (протокол от 28 февраля 2024 г.) о расширении технического задания: центр должен обеспечить последовательное наращивание мощностей для выпуска фотошаблонов с проектными нормами 28 нм.
Подробности о проекте
Средства в размере 24,3 млрд руб. пошли на закупку 73 единиц высокотехнологичного оборудования, из которых 49 уже законтрактованы, а 30 уже завезены. При этом 49 установок завозятся из-за рубежа. Остальные приобретаются у российских и белорусских производителей.
На центр фотошаблонов в Зеленограде потратят свыше 31 миллиарда
Несколько установок были разработаны в рамках программы «Электронное машиностроение». Среди них многолучевой лазерный генератор изображения DUV (ОКР «Прогресс-ГИФ») для формирования изображения на фотошаблонах на 250 нм, установка контроля топологии и поиска дефектов на ФШ с хромовым маскирующим покрытием (ОКР «Прогресс-КТФ»). Минимальный размер обнаруживаемого дефекта 90 нм.
Большая часть оборудования будет установлено и запущено в работу до конца 2026 г. В 2026 г. планируется завести еще 39 единиц оборудования.
Центр ФШ
НТЦ ФШ создается на базе НИУ МИЭТ в особой экономической зоне «Технополис Москва» (площадка Алабушево). Производство разместится в новом корпусе ИЛПК №4 площадью 14,5 тыс. кв. м, ввод которого запланирован на 2026 г. Проектная мощность центра составит не менее 5,5 тыс. фотошаблонов в год с возможностью наращивания до 10 тыс. заготовок.
Центр будет выпускать бинарные, сложные бинарные с элементами коррекции оптической близости (ОРС) и фазосдвигающие фотошаблоны для проектных норм до 28 нм. Освоение технологий идет поэтапно: в 2026–2027 гг. — 350 и 250 нм, в 2028–2029 гг. — 180 и 90 нм, к 2030 г. — 65 нм, в перспективе — 28 нм. Заказчиками продукции выступят АО «Микрон», ООО «НМ-Тех», АО «НИИМЭ» и др.
