Опытный образец электронного микроскопа на замену Hitachi для проверки кремниевых пластин обойдется в 2,4 миллиарда
Минпромторг выделил 2,4 млрд рублей на создание отечественного сканирующего электронного микроскопа для измерения критических размеров на полупроводниковых пластинах. Разработка должна заменить японские установки Hitachi, поставки которых в Россию заблокированы санкциями.
Вложения в чипы
Как выяснил CNews, Минпромторг выделил 2,4 млрд руб. изготовление опытного образца промышленно-ориентированной установки сканирующего электронного измерительного микроскопа для измерения критических размеров на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм. Тендер на работы в формате открытого конкурса был опубликован 1 июня 2026 г., следует из портала госзакупок.
В разделе технико-экономического обоснования разработчику предписано провести сравнение с лучшими зарубежными аналогами. В качестве эталона в техзадании прямо указаны японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000. Это прямое указание на цель работы: создание отечественного аналога японских сканирующих электронных микроскопов для контроля размеров, которые сегодня широко используются в микроэлектронном производстве и попадают под санкционные ограничения.
Работы должны быть выполнены до июня 2030 г.
Что должно быть разработано
Согласно техническому заданию, исполнитель должен создать установку сканирующего электронного измерительного микроскопа (CD-SEM) для контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец изготавливается в исполнении для пластин 200 мм.
Минпром выделил свыше 2 млрд на замену японской Hitachi
Установка предназначена для неразрушающего контроля и измерения критических размеров элементов топологического рисунка на поверхности кремниевых пластин — ширины линий, диаметров контактных отверстий, расстояний между элементами периодических структур, шероховатости края линии.
Критические комплектующие изделия и узлы установки: электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер системы управления, программное обеспечение — должны быть отечественного производства.
Применение иностранных критических комплектующих допускается только при наличии обоснования в техническом проекте и письменного согласования с Минпромторгом.
Работы входят в госпрограмму «Научно-технологическое развитие Российской Федерации».
Установки и сроки
Программа развития электронного машиностроения, рассчитанная до 2030 г., предусматривает импортозамещение около 70% оборудования и материалов для производства микроэлектроники. Бюджетное финансирование программы должно составить более 240 млрд руб.
По данным Минпромторга, к 2030–2032 гг. на отечественные предприятия должны быть внедрены 122 российские установки для производства микросхем.
Хотя в сентябре 2025 года стало известно, что разработки российского оборудования для производства чипов отстают от графиков в рамках госпрограммы «Электронное машиностроение». Причинами называли технологическую неготовность, дефицит кадров и критическую загруженность предприятий. В МНТЦ МИЭТ прямо заявили, что начало ряда ОКР перенесено с 2025 на 2026 год, отметив, что при ограниченном финансировании имеет смысл делать паузу в разработке оборудования для 300 мм пластин и фокусироваться на более «зрелых» линейках (200 мм). Эксперты рынка тогда предупреждали, что годовая задержка для сложных проектов может вылиться в два-четыре года.
