Раскрыт покупатель первого российского серийного литографа. Поставка до конца 2026 года
Первый серийный российский литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром, будет передан заказчику в декабре 2026 г. Им станет «Маппер», входящий в «Ростех». Стоимость базовой версии литографа с разрешением 350 нм может составить 392 млн руб., а с расширенным сервисным обслуживанием — 561 млн руб.
Поставка первого литографа
Как стало известно CNews, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) литограф с разрешением 350 нм будет передан заказчикам в декабре 2026 г. Первым получателем станет производитель микроэлектроники «Маппер». Об этом CNews рассказали источники, близкие к компании и Минпромторгу.
Вторая серийная машина после «Маппера» поступит к компании «Отраслевые решения», входящей в группу «Элемент». Об этой поставке было известно еще в сентябре 2025 г.
Представители «ЗНТЦ» отказались от комментариев. Хотя о том, что есть два коммерческих контракта на литограф говорил руководитель производства изделий РЭА ЗНТЦ Дмитрий Калбазов на выставке ExpoElectronica-2026. В «Элементе» и «Маппере» не ответили на запросы CNews.
Чем известен «Маппер»
«Маппер» — это современная МЭМС-фабрика, расположенная в Технополисе «Москва». Компания специализируется на контрактном производстве чувствительных элементов на основе кремния по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) на 100-мм пластинах.
Первые серийные литографы поставят к концу года
Производственные мощности «Маппера» составляют 1500 кв м чистых помещений, более 30 единиц современного оборудования, около 70 специалистов и мощность до 5000 пластин в год. Компания была основана в 2012 г. как дочернее предприятие нидерландского холдинга Mapper Lithography. С апреля 2022 г. «Маппер» принадлежит АО «ОКБ «Астрон», которое входит в холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех».
Совместно с «Астроном» «Маппер» участвует в масштабном проекте Минпромторга по серийному производству ИК-матриц для БПЛА и тепловизоров. Как ранее писал CNews, к 2028 году в России планируется наладить выпуск около 11,5 тыс. детекторов инфракрасного излучения ежегодно. На этот проект выделены суммы, исчисляемые миллиардами рублей — на каждый из шести цехов производственной цепочки от 4 млрд до 15 млрд руб.
О литографе
Оборудование «ЗНТЦ» предназначено для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину при изготовлении сверхбольших интегральных схем с топологической нормой 350 нм. Эти нормы используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах.
Литограф разработан совместно с белорусской компанией «Планар». Установка имеет рабочее поле 22×22 мм и способна обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Вместо традиционной ртутной лампы в ней применен твердотельный лазер, что обеспечивает большую мощность и энергоэффективность.
Стоимость базовой версии литографа составляет 392 млн руб. без НДС. С учетом расширенного сервисного обслуживания и пятилетней дополнительной гарантии цена превышает полмиллиарда и достигает 561 млн руб. Для сравнения: аналогичное зарубежное оборудование стоит на 40–60% дороже. Производительность установки — до 63 пластин диаметром 150 мм или 43 пластин диаметром 200 мм в час. Срок изготовления и поставки — 18 месяцев с момента внесения 50% аванса.
В планах ЗНТЦ — создание следующего поколения оборудования с разрешением 130 нм. В августе 2026 г. уже был анонсирован опытный образец такой установки, разработанный совместно с «Планаром». Общая стоимость ОКР по этому проекту составляет 5,7 млрд руб. Серийные поставки 130-нм литографов планируются с 2027 г.
