«Сколково» лишилось уникального микроскопа для исследований в микроэлектронике и фотонике. Детали потеряли при модернизации

Исчезновение частей микроскопа

Как узнал CNews, Сколковский институт науки и технологий («Сколтех», одна из ключевых структур инновационной системы «Сколково») планирует восстановить уникальный атомно-силовой микроскоп (АСМ) российского производства — NT MDT Vega. Об этом говорится в материалах института, размещенных 25 февраля 2026 г. в системе закупок Bidzaar.

Прибор является необходимой частью исследований в микроэлектронике, фотонике, спинтронике, разработке современных магнитных материалов и целом ряде других направлений науки и технологии. Микроскоп был приобретен ООО «Сколково инфраструктура» в 2022 г. за 25,2 млн руб. и передан для установки на территории «Сколтеха» по договору аренды. Изготовитель и поставщик техники — российская компания ООО «НМ-МДТ», на тот момент принадлежавшая Андрею Быкову.

Атомно-силовой микроскоп марки Vega устанавливают в научных и учебных учреждениях

В конце 2023 г. производитель сам обратился в «Сколтех» с предложением провести бесплатную модернизацию устройства. Институт откликнулся и передал «НМ-МДТ» в Зеленоград критически важные детали, в том числе систему ХУ-позиционирования образца относительно зонда, измерительную головку АСМ, сменный сканер для сканирования зондом и моторизированную систему Z-перемещения измерительной головки.

Работы должны были занять около трех месяцев. Когда срок вышел, «НТ-МДТ» оборудование не вернул. Купить детали взамен утраченных также оказалось невозможно, так как «НТ-МДТ» — их единственный производитель — был признан банкротом.

«В ответ на запрос был получен ответ внешнего управляющего исх. 2507/24-2 от 25 июля 2024 г., согласно которому оборудование не было выявлено по результатам инвентаризации, в связи с чем внешний управляющий не может вернуть его. Без указанных частей использование микроскопа по назначению полностью невозможно», — констатировали в «Сколтехе».

«Сколтех» пытался получить доступ к предполагаемому месту нахождения частей микроскопа, но в ответ еще раз получил заявление от производителя с подтверждением, что «оборудование было утрачено». «НТ-МДТ» покинул арендуемое у «Элма» помещение вместе с имуществом в апреле 2024 г.

Судебные разбирательства

«Сколтех» подал иск в Арбитражный суд Москвы в июне 2025 г. с требованием вернуть всю стоимость микроскопа — 25,2 млн руб.

Как выяснил суд, детали микроскопа были переданы производителю в тот момент, когда процедура банкротства уже была запущена. Причем производитель сам потребовал передать детали для модернизации. В суде представитель «НТ-МДТ» заявил, что действия на тот момент гендиректора компании-банкрота Андрея Быкова «вызывали обоснованные сомнения».

«При таких обстоятельствах, когда сам пользователь оборудования не заявлял о возникновении обстоятельств, при которых требуется гарантийный ремонт или модернизация, действия бывшего генерального директора должника А. Быкова по направлению письма о проведении работ по модернизации на безвозмездной основе вызывают обоснованные сомнения», — говорится в материалах суда со ссылкой на выводы ответчика.

В компании указали, что именно Быков несет ответственность за случившееся. К тому же он не передал детали микроскопа временному управляющему, не сообщил о взятых обязательствах. Также представитель «НТ-МДТ» заявил, что в случае удовлетворения иска «Сколтех» должен вернуть оставшиеся у него детали микроскопа, так как требует от компании всю его стоимость.

В итоге суд отказал «Сколтеху» в удовлетворении иска, сославшись на тот факт, что он всего лишь арендатор оборудования, а собственником выступает «Сколково инфраструктура», привлеченное как третье лицо. При этом институт — это материанская компания «Сколково инфраструктура». Институт обжаловал решение, разбирательства продолжаются.

ООО «НТ-МДТ» признано банкротом в августе 2024 г. из-за долгов. Его имущество выставлено на торги. Речь идет о производственных мощностях, станках, стендах, платформах, патентах на изобретения, товарных знаках, тысячах микросхем и электронных компонентах. На торги, прошедшие в феврале 2026 г., не было подано заявок. Теперь имущество выставлено по сниженной стоимости.

Шанс есть

Ситуация с восстановлением микроскопа выглядела безвыходной, пока бывшие работники производителя-банкрота «НТ-МДТ» не открыли свои компании, следует из материалов «Сколтеха». Они прислали в институт два коммерческих предложения и готовы произвести оборудование, аналогичное пропавшему, утверждают в институте. Научное учреждение к марту 2026 г. планирует получить переоценку реального ущерба с учетом возможного ремонта.

«В коммерческих предложения они заявляют готовность изготовить аналоги утраченных частей за меньшую сумму», — указано в материалах «Сколтеха», опубликованных 25 февраля 2026 г.

В «Сколтехе» не назвали компании, которые предоставили коммерческие предложения. Но и другие участники рынка могут взяться за восстановление уникального микроскопа.

Соавтор проекта «Наша Лаба» и член Координационного совета по делам молодежи в научной и образовательной сферах Совета при Президенте России по науке и образованию Ольга Тарасова пояснила CNews, что такой микроскоп можно восстановить усилиями профильных инженеров. Например, проект «Наша лаба» — это сервис по поиску и подбору российского и белорусского научного оборудования, сейчас объединяет свыше 900 производителей. Он был создан при участии профессора РАН Сергея Адонина после ухода иностранных компаний-поставщиков оборудования. В модуле «Научная мастерская» давно можно найти мастеров и сервисных инженеров, которые помогут с восстановлением оборудования.

«Полагаю, если в «Сколтех» обратятся на наш портал с такой заявкой, микроскоп удастся оперативно восстановить. Но в любом случае потребуется диагностика прибора», — пояснила Тарасова.

Польза в микроэлектронике

В «Сколтехе» не ответили на запрос CNews об уникальности микроскопа и его предназначении.

По словам Тарасовой, атомно-силовые микроскопы компании «НМ-МТД» считались одними из самых точных в стране, они были установлены и во многих зарубежных лабораториях и центрах.

«Сейчас такие микроскопы оснащают еще научным ПО с ИИ, позволяющим быстро обрабатывать изображения. Сферы применения атомно-силовых микроскопов — металлургия, химия, физика, биология, медицина», — говорит эксперт.

Микроскоп аналогичной марки в 2024 г. появился на Физическом факультете МГУ. Но в качестве его производителя уже указана компания NT-MDT Spectrum Instruments (также принадлежит Андрею Быкову). Он используется как для поддержки учебного процесса, так и для выполнения широкого спектра научных исследований, в том числе совместно с другими подразделениями МГУ и сторонними организациями.

Отмечается, что у него исключительный уровень автоматизации. 14 шаговых двигателей управляют всеми подвижными частями микроскопа, а интеллектуальное программное обеспечение с нейросетью стирает грань между оптическим и АСМ изображением. В настоящее время не существует другого конкурентного типа микроскопии, который позволял бы оценивать одновременно и структурные особенности, и функциональную активность как биологических объектов, так и микроэлектронных изделий с атомарным разрешением, говорится в сайте факультета.

Прибор является необходимой частью технологического цикла при разработке, исследовании и контроле качества структур и устройств в микроэлектронике, фотонике, спинтронике, разработке современных магнитных материалов и целом ряде других направлений науки и технологии, пояснил CNews Алексей Иешкин, кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник кафедры физической электроники физического факультета МГУ.

Особенностью прибора Vega является возможность исследования больших образцов (таких как технологические пластины микроэлектроники размером до 20х20 см) с высоким уровнем автоматизации. Стабильность работы на протяжении процесса измерений обеспечивается использованием встроенной акусто- и виброизоляции и термостабилизации. Разрешение по высоте определяется шумами измерительной системы. Электроника микроскопа Vega обеспечивает шумы не более 0,3 Å.

«Атомно-силовой микроскоп позволяет исследовать целый набор характеристик поверхности на наноразмерном уровне. Кроме непосредственно определения рельефа поверхности, в базовой конфигурации микроскопа доступно около 50 методик измерений. Так, при использовании зонда с магнитным покрытием можно исследовать магнитную структуру материала. Проводящие зонды позволяют включить в рассмотрение электростатические силы, что дает возможность определять локальные свойства проводимости, строить карту потенциала поверхности и её емкости, а также осуществлять микроскопию пьезоотклика», — пояснил CNews Алексей Иешкин.

Как пояснили CNews в пресс-службе крупнейшего российского чипмейкера АО «Микрон», атомно-силовой микроскоп NT-MDT Vega позволяет измерять структуры менее 5 нанометров, в том числе подзатворные и туннельные диэлектрики, а также исследовать распределение и глубины залегания примесей в активных областях. Соответственно, он может использоваться в микроэлектронике, в том числе и на «Микроне».

«В контроле процесса микроэлектронного производства используются различные типы микроскопов, в том числе растровые электронные, электронно-ионные, оптические, конфокальные лазерные — как на предприятиях, так и в специализированных лабораториях», — говорят в компании.

Например, в ОЭЗ «Технополис Москва» «Микрон» при поддержке правительства Москвы создает лабораторию МИЛМ, где будут проводится анализы и комплексные испытания химических материалов и электронной компонентной базы (ЭКБ), а также их сертификация.