Россия строит суверенную линейку оборудования для производства чипов вместе с белорусами
Россия и Белоруссия объединили усилия для создания линейки оборудования для производства фотошаблонов и фотолитографии. В кооперации с белорусским ОАО «Планар» разрабатываются девять установок, которые должны закрыть критически важные звенья в технологической цепочке производства чипов.
Девять проектов
Как выяснил CNews, российский предприятия в кооперации с белорусским ОАО «Планар» разрабатывает девять установок, которые должны закрыть критически важные звенья в технологической цепочке производства чипов.
Согласно презентации директора департамента станкостроения Минпромторга Валерия Пивеня, совместные проекты с ОАО «Планар» охватывают практически всю технологическую цепочку производства фотошаблонов: от создания рисунка на фотошаблоне до контроля его дефектов. Фотошаблон — это стеклянная пластина с рисунком топологии микросхемы, которая используется в фотолитографии как «негатив» для переноса изображения на кремниевую пластину.
Какие разработки
В перечень разработок входят генератор изображений на фотошаблонах для техпроцессов 90–65 нм («Процесс ГИФ», 2025 г.), установка контроля топологии на фотошаблонах для тех же норм («Процесс КТФ», 2024 г.).
Россия и Белоруссия разрабатывают линейку для производства чипов
В 2026 г. запланировано создание сразу нескольких установок: переноса меток совмещения на обратную сторону пластины («Прогресс-Перенос»), контроля координат топологических элементов («Прогресс-Контроль»), лазерного устранения дефектов («Прогресс-Ретушь») и контроля привносимой дефектности («Прогресс-КДПП»). На 2027 г. запланирована установка контроля полутоновых маскирующих покрытий («Прогресс ПМП»).
О том, что Россия и Белоруссия совместно работают над созданием фотолитографов на 350 и 130 нм, CNews уже писал ранее. Нынешний проект расширяет сотрудничество на другие, не менее критичные типы оборудования для производства фотошаблонов.
Создание генератора изображений для фотошаблонов — одна из ключевых разработок. Это оборудование формирует рисунок топологии на фотошаблоне с высокой точностью, необходимой для выпуска современных микросхем. Установки контроля топологии и координат проверяют правильность нанесения рисунка, выявляют отклонения и дефекты, а установка лазерной ретуши позволяет исправлять мелкие дефекты на фотошаблоне без необходимости его переделки. Установка переноса меток совмещения, в свою очередь, необходима для точного совмещения слоёв при производстве многослойных чипов.
Чей вклад больше?
На «Планаре» сосредоточена компетенция по созданию сложных установок для фотошаблонов, которая сохранилась с советских времен, рассказал CNewsпартнер практики «Промышленность и технологии» Strategy Partners Роман Тиняев.
«Инженерная и производственная работа лежит на белорусском предприятии, — говорит Тиняев. — Российская сторона выступает в роли заказчика, методолога, интегратора и финансирует работы».
По его мнению, сотрудничество с «Планаром» — необходимая кооперация, безусловно, являющаяся тактическим успехом. Благодаря «Планару» Россия закрывает критические ниши в производственной цепочке (от записи топологического рисунка на фотошаблонную заготовку через многоуровневый контроль до лазерной коррекции дефектов), заключил Тиняев.
Россия уже реализует собственные проекты в области электронного машиностроения, развивает инфраструктуру производства фотошаблонов, инвестирует в создание технологического оборудования и формирует новые производственные мощности. Это означает, что развитие собственной инженерной базы идет независимо от конкретного проекта с «Планаром», считает руководитель проектов холдинга SNDGLOBAL Константин Лапотко.
Независимый эксперт и автор Telegram-канала RUSMicro Алексей Бойко полагает, что в ближайшие годы мы можем увидеть установки для фотолитографии, разработанные полностью российскими компаниями.
Чем известно «Планар»
ОАО «Планар» — белорусский производитель оборудования для микроэлектроники, один из ключевых игроков на постсоветском пространстве. Компания базируется в Минске и специализируется на создании установок для фотолитографии, контроля и измерения параметров полупроводниковых пластин и фотошаблонов. Сотрудничество с «Планаром» позволяет России получить доступ к технологиям и производственным мощностям, которые в самой стране пока отсутствуют.
Совместные проекты с «Планаром» вписываются в программу развития электронного машиностроения, цель которой — к 2030 г. заместить около 70% импортного оборудования и материалов для микроэлектроники. На программу предусмотрено более 240 млрд руб. бюджетного финансирования.
